表1　极化后的测试参数

由表1可见，优化极化后的电容极差在10％内，与传统的极化操作相比，可有效提高压电陶瓷参数在匹配时的一致性。

4　结语

本文设计了一个基于单片机的压电陶瓷极化参数控制装置，实现对极化槽内的温度测量、电加热控制、在线测量压电陶瓷参数等功能。该方法避免了压电陶瓷极化完成后，进行参数测量、匹配过程繁烦与匹配成功率低的问题，通过在直流高压附加小幅值变频信号的方法，实现了在线压电陶瓷参数测量，可以提高参数一致性的成品率，简化匹配过程。实验和计算机模拟表明，该方法简单、可靠和参数一致性好。