高低温

测量

TSC6530热激励电流测量系统是一款专门用于测量压电陶瓷热激烈电流的专用设备，该系统是在客户一致认可的TSC-6520的基础上升级而成，不仅可以测量压电陶瓷的热激励退极化电流TSDC，还可以测量热激励极化电流TSPC，最高极化电压10KV，最小空载电流可达到0.5PA，得到清华大学、上硅所、华中科技大学等行业客户的高度认可，是高校、科研院所、企业用于研究压电陶瓷热释电性能的必备表征工具。

退极化

电流

手册
热激励电流测量系统
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液氮

制冷

TSC6530​热激励电流测量系统

极化电压

10KV

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BNC测量导线

连接主机和仪表，测量导线不同的颜色分别对应不同的接口，按照颜色对应连接，实现无限拓展与应用。

高低温控温平台

高低温加热一体化控温平台，温度可达-160℃~450℃​，采用PID精确控温，控温精度1℃。

三维位移平台

分别有四个探针臂，运用XYZ三维移动平台的控制夹具方向，位移最小分辨率10um以下，且不划伤薄膜。

热激励电流测量系统

高低温、真空、气氛条件下研究压电陶瓷的热激励电流

控制机箱

通过控制机箱来控制夹具的传感器、平台的温度、真空阀和测量精度等。

     温度范围：-160℃~450℃

     电流范围：500fA~20mA

     控温精度：±0.5℃

     真空度：10^-2Pa

     控温方式：PID精确控温

     样品尺寸：φ＜20mm

     升温斜率：0~10℃/min（默认3℃/min）

     探针臂：4个

     加热制冷：液氮制冷/电阻丝加热

    X轴：行程±0.5mm,最高精度±0.01mm

     降温时间： 30min/-160℃

    Y轴：行程±0.5mm,最高精度±0.01mm

     极化电压： 0~10KV

    Z轴：行程±0.5mm,最高精度±0.01mm

热激励电流测量系统
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极化电压高达10KV,最小空载电流可达0.5PA。
专门用于测量压电陶瓷热激励电流的设备，数据精准可靠。
高低温、真空、气氛条件下研究压电陶瓷的热激励电流。

专业测量热激励退极化电流和热激励极化电流

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集成化设计，内置常用关键测量参数，五步操作，轻松获得最佳测量结果。

配备低温液氮传输系统，实现自动补给控温平台需要的制冷量。

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实现500fA~20mA电流测量解决方案