为了更方便的研究高温条件下半导体或绝缘材料的导电性能，佰力博科技已经研发出HRMS-800高温四探针测量系统，该系统可以测量硅、锗单晶(棒料、晶片)电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃(ITO)和其它导电薄膜的方块电阻,,该设备按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于变温、真空及气氛条件下测试半导体材料电学性能的最佳测量系统。

HRMS-800高温四探针测量系统1.3 .pdf