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分流粗抽型泵组,是特意为频繁排气和抽气的高真空系统设计,系统对大气排空后,可以实现不用停分子泵,就能再次快速对已排空的系统进行抽气。主要流程是先开启旁通阀对系统进行粗抽,再切换分子泵入口阀开启,进行高真空抽气,目前配合真空封管装置和低温真空探针台使用,可以大大提高实验效率。
系统参数
抽气速率(N2):90 |/S
极限压力:<4 x 10-8 mbar
压缩比(N2):>1x1011
涡轮分子泵:TURBOVAC 90 I
50Hz下前级泵抽气速率
双级旋片油泵: 2m3/h
浮云式涡旋干泵: 1.2m3/h
进口法兰:KF40/ISO63/CF63
排气法兰:KF16
噪音水平:56dB(A)
系统漏气率:<4 x 10-8 mbar
性能优势
■ 适用于真空内所有应用的紧凑型系列设备;
■ 启停一键控制,百分比读数,使用方便;
■ 内置可控真空计,集成一体化设计;
■ 配套TAVS排气阀实现自动放气;
■ 结构紧凑,体积小,便于放置和搬运;
■ 性能高,可实现长期可靠运行;
应用领域
■ 材料真空应用;
■ 真空封管装置真空获得;
■ 低温真空探针台真空获得;
■ 真空溅射镀膜;
■ 真空烧结;
标准配置:
主机、分流粗抽套件、真空规管套件、数据线、电源线、出厂检验报告、操作说明书
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