中外合作研究高介电材料取得重大进展
文章来源:BALAB | 作者:编辑部 | 发布时间:2017-03-29 | 667 次浏览 | 分享到:


  2015年1月,南京大学与中科院物理所和摩托罗拉公司合作的高介电材料研究取得重大进展:作为下一代金属氧化物半导体场效应管器件栅介质材料,两种薄膜材料铝酸镧(LAO)和镧铝氧氮(LAON)均具有优异的性能。据介绍,这类材料可望使半导体器件特征尺寸缩小到65纳米以下时继续遵从“摩尔定律”,从而生产出更小、更快的芯片。


  半导体工业中至今使用的栅电介质材料为二氧化硅,随着半导体超大规模集成电路加工工艺的不断升级,器件的尺寸愈来愈小,二氧化硅介质层的厚度也必须相应减小,特征尺寸为65纳米的下一代技术要求二氧化硅介质层的厚度小于2纳米,但如此薄的二氧化硅层中将产生很高的隧穿电流,从而使二氧化硅无法承担这一使命,用高介质材料来取代二氧化硅介质层已是大势所趋。


  南京大学固体微结构实验室与摩托罗拉公司合作,由摩托罗拉提供科研资助、科技信息和奖学金,南京大学以相关课题的研究成果为摩托罗拉的研发工作提供技术支持。这种成功的伙伴关系使中国高水平学术研究单位的创造性、专长和探索方法与摩托罗拉的尖端技术和对市场的洞察力有机结合在一起,从而使那些具有巨大潜在市场影响的技术得以快速研究升级。


  中科院建国初成立,在基础科学研究领域,先后取得了许多重大的科研成果,如数学定理的机器证明、哈密尔顿系统的辛几何算法、τ轻子质量精确测量、新核素合成、超新星观测、高温超导、碳纳米管的制备和应用、非线性光学晶体、过渡金属原子簇结构和性质以及金属有机化学等等。


  中科院上海硅酸盐研究曾采购佰力博高温介电测量系统进行功能陶瓷及器件研究;中科院成都光电所曾采购佰力博高温四探针测量系统用于高温条件下半导体或绝缘材料的导电性能研究;中科院新疆理化所曾采购佰力博高温介电测量系统进行材料物理性能研究。


  中科院为中国的信息、能源、材料、资源、农业、医药、空间和国家安全等方面的研究和发展以及形成科技战略储备做出了重要贡献。