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问:
我用四探针测试仪检测了样品的体电阻和方块电阻(薄膜电阻),但有几个问题不是很清楚,想问问行内的大虾:
1. 方块电阻乘膜厚度是不是就是材料的电阻率
2. 体电阻的单位是 ohm*cm, 和电阻率的单位一样,那它和电阻率有关系吗?
答:
1.方块电阻乘膜厚度就是材料的电阻率
2.方块电阻是针对薄膜来说的,乘厚度就是薄膜的电阻率。体电阻的算法和方块电阻不一样,你可以看看黄昆的半导体物理
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