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低温真空探针台—定制
文章来源：BALAB | 作者：编辑部 | 发布时间：2017-03-27 | 687 次浏览 | 分享到:
  Partulab自主研发的CPS系列低温真空探针台是为晶片、器件和材料（薄膜、纳米、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等）提供真空和低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台。该系列低温真空探针台可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量，广泛应用于半导体工业（芯片、晶圆片、封装器件）、MEMS、超导、电子学、铁电子学、物理学和材料学等领域。

 CPS-7000技术参数：

 制冷方法：液氦/液氮制冷

 温度范围：80K-475K（液氮制冷），
                   4.2K-475K（液氦制冷）；

 选配低温选件后，温度可降低到3.2K；

 选配高温选件后，温度范围为20K-675K；

 控温稳定性：±50mK；

 制冷剂消耗：<1.5L/hr@LHe   <0.5L/hr@LN2；

 降温时间：液氦~30min to 10K，~60min to 5K；
                   液氮~45min to 110K，~60min to 80K；

  样品尺寸：最大直径51mm；

 XYZ位移平台行程与精度：X轴51mm，精度20μm；

 Y轴25mm，精度10μm；Z轴25mm，精度10μm；

 频率范围：测量DC到67GHz；

 真空环境：~10-5-10-6mbar；

 顶部光学观察窗：标准2.0"（51mm）；

 4个直流探针臂，最多可使用6个探针臂，每个探针臂上配有三同轴接头及配套电缆。

 CPS-8000低温真空探针台

 CPS-8000技术参数：

 制冷方法：G-M制冷机

 温度范围：10K-325K（10K GM制冷机），
                   4.5K-325K（4K GM制冷机）；

 选配高温选件后，温度范围为50K-500K；

 控温稳定性：±50mK；

 降温时间：~3-4hours；

 样品尺寸：最大直径51mm；

 XYZ位移平台行程与精度：X轴51mm，精度20μm；

 Y轴25mm，精度10μm；Z轴25mm，精度10μm；

 频率范围：测量DC到67GHz；

 真空环境：~10-5-10-6mbar；

 顶部光学观察窗：标准2.0"（51mm）；

 4个直流探针臂，最多可使用6个探针臂，每个探针臂上配有三同轴接头及配套电缆。