电路和电子元器件的发展趋势是更加的小型化，集成化。由于功能薄膜材料的快速发展，铁电材料被广泛应用于各种高速电子和微波电路中。

伴随着铁电材料在微波电路和系统中的广泛应用，新型材料不断被研究，薄膜制造工艺不断被优化。为了更好地引导这些研究，就必须准确地测量铁电薄膜的复介电常数。

铁电薄膜通常被制作在成本低廉且拥有较小的介电损耗特性的铝制基片上，前人提出了许多测量铁电薄膜复介电常数的方法，例如：波导法，谐振腔法，自由空间法，数字电容法，全波分析方法，传输线法。

其中，共面波导线作为基本结构常被用于测量铁电薄膜的复介电常数。由于铁电薄膜很薄的特点，测量的准确度和精确度受测试谐振器结构和测试环境很大的影响。